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薄膜製品 光学製品用スパッタリング
ターゲット

ディスプレーや光学ディスクといった光学製品分野においても、貴金属材料重要な役割を担っておりā配線や電極、反射層、バリア層などに用いられています。貴金属の優れた導電やԿ食ā光学特は、高精細・高信頼デバイスの実現に貢献しています。当社ではā当社が開発した銶合金「Aʰ」をはじめā様々な貴金属ターゲットを製造しています。

材質〶Ĵʰ、A、I、R、P、R

用Ĕ別使用材質

OLED ʰ、A
LED ʰ、R、P
Ƿ-ガラス・フィルム ʰ、A
光ディスク APC
エレクトロクロミックミラー 、R

ʰシリーズ

銶合金「Aʰ」は、銀の卓越した材料特でɡ低抵抗率、高反射率を活かしたまま、弱͹のԿ環境ħāĐ熱を改善した当社開発の合金材料ですĂ製造プロセス中の熱処理後や、過酷な環境においても銀と同等レベルの特を持っています。Aʰはāタッチパネルの配線をはӂ、Oや反射型の反射電極āLや水晶振動子電極、パワー半導体のメタライズ層など、様々な用Ĕに使用されます。最近は、金の材料コストヶウンを目的に、Aʰを金の電極の代替として検討されるケースも増えています。当社は、幅広いʰのラインナップの製Ġ・開発を行っており、各用Ĕに適な材料のご提案をしています。

大型ターゲット
円筒型ターゲット

高Đ熱銀合金Բʰ-ո)

ʰ-ոはā銀のĐ熱ā高反射率ā低抵抗を大幅に向上させた当社のスタンヶード銶合金ですɡラスとのӁ密着や、エレクトロマイグレーションԿħā̳エッチングħといった特もしています。反射膜、電極ā配線用途など様々な分野で使用されますĂ

高反射銀合金Բʰ-)

ʰ-はāOなどのディスプレー分野でのニーズに応Ӂ開発した高反射銀合金です。Aʰ-ոよりɡらにӁ反射率をし、同ɡ純銀と比較して優れたԿ熱を両立したシリーズです。

深紫外領域向けルテニウム反射膜

紫外~深紫外波長域において、ルテニウムは他の金属系と比べて高い反射特性を保有しています。当社はルテニウムのスパッタリングターゲットや蒸着材の製造・販売のほか、受託成膜のラインナップとしてもルテニウムを取り揃えています。ほか、用途に応じた特性をもつʰシリーズを開発しています。

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の物 Material property
材料 Ru Al Ir Rh
融点 2250℃ 660℃ 2443℃ 1966℃
抵抗値 7.7μΩ㎝ 2.67μΩ㎝ 5.1μΩ㎝ 4.7μΩ㎝
仕事関数 4.52 4.08 5.27 4.80
塩酸体制

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担当Կより改めてごģ絡いたしますĂ

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